編者:中噴網(wǎng) 墨宸
2025年10月,上海傲??萍加邢薰咀灾餮邪l(fā)的CMOS-MEMS智能微流控芯片,在廣州增芯科技12英寸智能傳感器晶圓制造產(chǎn)線成功流片下線。這是全球首顆基于12英寸CMOS-MEMS單片集成工藝制造的微流控芯片,將用于寬幅工業(yè)打印頭,填補了國內(nèi)相關(guān)技術(shù)空白。經(jīng)過多輪工藝迭代改善,該芯片已通過晶圓級可靠性測試,目前晶圓已轉(zhuǎn)入封裝廠進行后段封裝,完成最終測試后將正式投放市場。

近半年的數(shù)據(jù)跟蹤顯示,依托增芯12英寸產(chǎn)線,單顆芯片成本有望降低30%以上,生產(chǎn)效率提升100%。這一突破不僅意味著傲??萍伎梢猿薪哟饲盁o力應(yīng)對的大規(guī)模工業(yè)訂單,也為進入對成本敏感的消費級市場、同時為生物醫(yī)療等新興領(lǐng)域研發(fā)留出了空間。
海歸博士創(chuàng)業(yè),深耕智能微流控
傲??萍加申P(guān)一民、徐飛、馬青華三位海歸博士于2018年創(chuàng)立,專注于智能微流控技術(shù)。關(guān)一民曾在海外從事微流控研究近20年,擁有70多項專利,其中包括50多項美國專利。2015年,他獲悉上海微技術(shù)工業(yè)研究院將建設(shè)8英寸MEMS晶圓廠后,決定回國創(chuàng)業(yè),并買下美國團隊的智能微流控技術(shù)專利。
2019年7月,公司驗證一英寸打印芯片;2020年8月發(fā)布首款自主研發(fā)的CMOS-MEMS噴墨打印芯片,成為國內(nèi)首家實現(xiàn)國產(chǎn)打印芯片量產(chǎn)的企業(yè)。該芯片打印精度達1200dpi,耐用超3萬頁,性能對標國際同類產(chǎn)品,主要應(yīng)用于消費級打印頭。2025年1月,傲睿科技完成近億元新一輪融資,由興橙資本領(lǐng)投,老股東上海新微技術(shù)工研院跟投。
從8英寸到12英寸的跨越
上海微技術(shù)工業(yè)研究院的8英寸MEMS中試線是傲??萍嫉募夹g(shù)起點。正是在這條線上,傲睿完成了從技術(shù)驗證到產(chǎn)品量產(chǎn)的跨越。然而,當傲睿向?qū)挿I(yè)打印頭市場拓展時,8英寸產(chǎn)線在成本和產(chǎn)能上的局限逐漸顯現(xiàn)。寬幅工業(yè)打印頭對成本控制和大規(guī)模量產(chǎn)能力要求更高,傲睿此前規(guī)劃的"以消費級產(chǎn)品利潤反哺高端技術(shù)研發(fā)"路徑受阻。
轉(zhuǎn)機出現(xiàn)在2024年。傲睿團隊在一次行業(yè)會議上與增芯科技創(chuàng)始人交流,彼時,增芯已建成國內(nèi)首條12英寸智能傳感器晶圓制造產(chǎn)線。增芯科技12英寸晶圓制造項目于2024年6月28日在廣州增城投產(chǎn)啟動,是國內(nèi)首條、全球第二條12英寸MEMS智能傳感器晶圓制造產(chǎn)線,一期投資70億元,項目一期產(chǎn)能預(yù)計于2025年底達到2萬片/月。雙方探討了12英寸產(chǎn)線對寬幅工業(yè)打印頭的價值——更大尺寸、更低成本、更高精度、更高產(chǎn)能。這正是傲睿長期尋求的突破方向。事后回憶起那次會面,傲睿團隊直言:"當時很激動,感覺終于找到組織了。"
戰(zhàn)略合作打開規(guī)?;T
2025年1月,傲??萍寂c興橙資本、增芯科技、越海集成、廣東工研院簽署戰(zhàn)略合作協(xié)議,形成"制造+封裝+投資"的一站式合作模式。興橙資本作為牽頭方,不僅提供資金支持,還整合了增芯科技的12英寸CMOS制造、越海集成的先進封裝以及廣東工研院的應(yīng)用研發(fā)能力,構(gòu)建起"12英寸CMOS+MEMS+封裝"三位一體的綜合性技術(shù)平臺。
同年10月,傲睿芯片在增芯12英寸產(chǎn)線流片成功。2025年6月,廣東越海集成技術(shù)有限公司首批MEMS制造設(shè)備正式入駐廠區(qū),標志著越海集成國內(nèi)首條12英寸CMOS-MEMS智能微流控芯片量產(chǎn)線建設(shè)全面啟動,首期將達到每月1500片噴墨打印芯片產(chǎn)量。
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